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上海添時科學儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>ALD管式爐系統>> ALD-1200X-4雙通道ALD管式爐系統

雙通道ALD管式爐系統

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:ALD-1200X-4

品       牌:合肥科晶

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-13 12:43:13瀏覽次數:6082次

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產地類別 進口 價格區間 面議
儀器種類 管式爐 應用領域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合
雙通道ALD管式爐系統ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統,包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質子流量計控制系統。該管式爐系統簡潔的設計使得更多的科擔的低成本情況下實現ALD工藝實驗。

控制面板

· 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制 

· 兩個ALD進氣閥 

· 請點擊下圖查看控制面板(點擊圖片查看詳細資料)

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ALD進氣閥 

兩個ALD脈沖電磁閥(最小可在10ms完成閥門的開啟或關閉)

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精密液體氣相發生器 

精密液體氣相發生器包含在本系統中并且連接到ALD進氣閥

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雙溫區管式爐

 · 連續工作的最高溫度為1100℃

 · 兩個溫區由兩個獨立的溫控系統來控制,而且都為PID30段程序化控溫 

 · 每個加熱區長度為200mm,加熱區總長度為400mm 

 · 爐管兩端放置管堵時兩溫區的最大溫度差為500℃

 · 輸入電壓:208-240V AC,單向最大功率為4KW

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防腐型數顯真空計

 · 測量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr

 · 耐腐蝕 

 · 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性

 · 可實現快速的氣體監測,響應時間較短易于更換插頭及傳感元件

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真空泵(選配)

 · 管內真空度可達10-2Torr 真空泵不包含在本系統內,如您進行CVD實驗可點擊下圖選購無油渦旋真空泵

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混氣系統

 · 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統 

· 可選購恒溫控制模塊

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更新觀念

 · 您可采用ALD設備搭建等離子增強原子層沉積+化學氣相沉積系統(PE-ALD+CVD)和等離子增強原子層沉積+物理氣相沉積+化學氣相沉積ALD+PVD+CVD),用于生長各類材料

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質保期 

一年保質期,終身維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈)

質量認證

 · 如您另付費用,我們可保證單臺儀器通過TUV(UL61010)或CSA認證

注意事項 

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa 會更加精確安全· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊· 點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭本公司有權隨時修改PE-CVD系統的設計不再另行通知,但我們保證修改之后的儀器質量可以達到和超過上述標準

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型號:ALD-1200X-4 參考價: ¥面議
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